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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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半導體基片熱沉復合材料的制備方法

931 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 16:22:02

本發明涉及一種半導體基片熱沉復合材料的制備方法,該方法主要步驟:鉭絲預處理,硅襯底預處理,硅片預處理后放入熱絲化學氣相沉積裝置的反應室內作為沉積襯底;抽真空后通入反應物氫氣和丙酮,進行微米晶金剛石薄膜成核;調節丙酮和氫氣流量及溫度等條件,進行微米晶金剛石薄膜生長;然后進行納米晶金剛石薄膜生長:調節丙酮和氫氣的流量,襯底溫度控制在600～650℃,薄膜生長時間3～5小時,由此獲得表面比較光滑的金剛石復合薄膜,即為半導體基片熱沉的復合材料。本發明設備簡單、生長速度快、質量較好、易實現大面積沉積等優點。

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“半導體基片熱沉復合材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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