本發明具體涉及一種在碳陶復合材料內部在線原位制備氧化硅晶須的方法,主要解決了現有方法制備納米二氧化硅所需的環境溫度高、需要有加熱過程、反應氣體流量大、不適合在陶瓷基復合材料內部反應的問題。方法包括以下步驟:1)將碳化硅陶瓷基復合材料放入化學氣相沉積爐內,爐內溫度在900~1100℃;2)將制備碳化硅陶瓷基體的先驅體氣體與空氣的混合氣體引入沉積爐內發生反應;3)陶瓷基復合材料內部在線原位形成氧化硅晶須。本發明方法所需環境溫度低、反應氣體流量小,可有效降低成本。
聲明:
“在碳陶復合材料內部在線原位制備氧化硅晶須的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)