本發明公開了一種用于蒸鍍掩膜板的金屬基復合材料、蒸鍍掩膜板及其制備方法。該金屬基復合材料包括基體和彌散于所述基體中的增強相,其中,所述基體為鐵鎳合金,所述增強相為非金屬顆粒,所述非金屬顆粒在基體中的體積比為20-50vol%。本發明提出的用于蒸鍍掩膜板的金屬基復合材料,密度降低,彈性模量升高,避免掩膜板因重力而懸垂,并且本發明提出的蒸鍍掩膜板的制備方法,能夠提高掩膜板的整體性能,并且節約原料,降低成本。
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