本發明是提供一種修正的溶膠-凝膠技術,通過 不同技術控制鋯鈦酸鉛鐵電薄膜的取向程度,探索制備具有高 度擇優取向鈣鈦礦結構鐵電薄膜的方法。本發明:(1)通過不同 的預處理方法,即常規熱處理和快速熱處理,可以得到程度不 同的擇優取向。(2)選用不同工藝制備的Pt/Ti底電極,即直流 濺射和真空蒸發,可以得到程度不同的擇優取向。(3)采用不同 的襯底結構來控制鋯鈦酸鉛鐵電薄膜的擇優取向方向。即在 Pt(111)/Ti/SiO2/Si襯底上的鋯鈦 酸鉛鐵電薄膜以(110)方向擇優取向;在LNO(100)/Si和 LNO/Pt/Ti/SiO2/Si襯底上的鐵電 薄膜以(100)方向擇優取向。
聲明:
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