本發明公開了一種非晶納米復合材料薄膜及其制備方法和應用。本發明通過物理氣相沉積的方法沉積到金屬基體表面,非晶納米復合材料薄膜包括在金屬基體上依次設置的Ti或Zr金屬層、TiAlCrZrCN層和SiTiAlCrZrCN層。一種非晶納米復合材料薄膜的制備方法,采用真空電弧蒸發在金屬基體表面先沉積一層Ti或Zr金屬層,再沉積TiAlCrZrCN層,再在TiAlCrZrCN層表面上采用中頻磁控濺射法形成摻雜Si的SiTiAlCrZrCN薄膜。本發明的薄膜的較低表面能和自清潔特性,從而實現金屬基體表面抗油漬、食材、調味品粘附,水漬易清潔效果,同時非晶納米復合材料薄膜還擁有高硬度、耐磨、耐高溫、耐腐蝕等特點。
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