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            > 高深寬比結構的電容式加速度計

            高深寬比結構的電容式加速度計

            995   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-01 01:00:06
            本實用新型公開了一種高深寬比結構的電容式加速度計,它涉及半導體MEMS制造領域中的一種高靈敏度加速度計。它由玻璃襯底、硅質量塊、玻璃襯底電極、硅玻璃鍵合臺面、懸臂梁、硅定梳尺、硅動梳尺、硅片等部件組成。硅定梳尺通過硅-玻璃鍵合點固定在玻璃襯底,形成固定部分,硅動梳尺、硅質量塊通過懸臂梁與硅玻璃鍵合臺面連接,形成可動部分。當感受到敏感軸方向外界加速度時,懸臂梁產生變形,硅動梳尺和硅定梳尺之間的電容量改變被采集輸出,測出加速度。它具有加工工藝簡單,工藝精度高,成本低廉等特點,它還具有靈敏度高,分辨率高,性能穩定等優點,特別適用于地質探礦、個人導航系統等高新技術領域作加速度計。
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            “高深寬比結構的電容式加速度計” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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