本發明提供了一種原位檢測礦物微區EBSD圖像的方法,采用配置了電子背散射衍射探頭的雙束掃描電鏡進行檢測,步驟如下:(1)將樣品置于樣品臺上,密閉樣品腔并抽真空,選取檢測區域;(2)利用FIB功能將選取的檢測區域內的樣品制成切片,固定在FIB載網上使切片與樣品臺垂直,利用FIB功能將切片減薄成薄片樣品;(3)①對薄片樣品進行t?EBSD檢測,得到初始厚度下的樣品微區EBSD圖像;②利用FIB功能對薄片樣品繼續減薄,減薄過程中,利用SEM功能實時觀察薄片樣品的表面形態,當薄片樣品表面出現納米顆粒時,對出現納米顆粒的區域進行t?EBSD檢測,得到包含納米顆粒的樣品微區EBSD圖像;③重復步驟②的操作,得到不同厚度下包含納米顆粒的樣品微區EBSD圖像。
聲明:
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