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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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基于埋層的垂直結構存儲器的制備方法

973 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 15:05:01

本發明公開了一種基于埋層的垂直結構存儲器的制備方法。該方法采用填埋下電極和存儲功能材料層，不僅可以實現良好的電熱絕緣，而且避開了以往制備此類垂直結構器件對化學機械拋光(CMP)的依賴。該方法在電子束曝光、聚焦粒子束刻蝕等高精度線性光刻手段，及高精度的薄膜淀積與刻蝕工藝輔助下，解決了以往研發此類垂直結構由CMP技術的研發瓶頸所導致的研發周期長、難度大、成本高、適用性差的缺點，并在制備精度、制備效率、經濟性以及與現有的CMOS工藝兼容性等方面具有很大的優越性。

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“基于埋層的垂直結構存儲器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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2 磷酸(錳)鐵鋰材料的發展及動力電

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3 磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方

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