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            > 柔性可穿戴非晶碳基應力傳感器及其制備方法

            柔性可穿戴非晶碳基應力傳感器及其制備方法

            1037   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 15:03:01
            本發明公開了一種柔性可穿戴非晶碳基應力傳感器及其制備方法。傳感器的結構為以非晶碳a?C薄膜/柔性襯底為功能材料,在a?C薄膜的兩端設置銀電極,由導電膠引出。本發明提供的壓力敏感材料的制備,以硅片為襯底,在襯底上生長氧化層為犧牲層,采用化學或物理的方法,在犧牲層上生長功能性薄膜材料;將柔性襯底粘貼于功能性薄膜表面,再采用酸腐蝕方法將犧牲層腐蝕后,得到一種柔性功能材料。本發明提供的應力傳感器具有優異的靈敏度和可彎曲特性,抗疲勞性好;并且結構簡單,成本低廉,使用方便、安全、可靠,可廣泛用于可穿戴領域。
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