本發明提出了一種高溫大量程硅?藍寶石壓力傳感器結構,包括鈦合金殼體、兩個鈦合金膜片、連接柱體、藍寶石膜片、單晶硅應變電阻和金屬引線。其中一個鈦合金膜片與藍寶石膜片通過真空燒結的方式結合在一起,形成壓力傳感器的敏感元件。在藍寶石膜片上,通過異質外延的方式生長出一層0.1?0.5μm的單晶硅薄膜。在外延膜上采用半導體平面工藝加工出單晶硅應變電阻,這些電阻組成惠斯頓電橋。另一個鈦合金膜片下方連接一個柱體,柱體下表面加工出球形凹面,與藍寶石膜片變形時完全貼合,無載荷作用時與藍寶石膜片保持5?10μm的間距。本發明上下膜片組成分離式的雙膜片結構,在測量小量程壓力的時候具有高靈敏度的優點,同時也可以用于大量程壓力的測量。
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