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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
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用于制造輻射熱探測器的方法

930 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-01 00:30:10

本發明公開了一種用于制造輻射熱探測器(100)的方法，包括以下步驟：在讀出電路的互連層級(20)上制造堆疊，該堆疊包括位于載體層(32)和蝕刻停止層(29)之間的犧牲層(30)，該犧牲層包括礦物材料；制造導電通路(38)，所述導電通路穿過所述堆疊以使該導電通路與所述互連層級的導電部分(21)相接觸；將導電層沉積在所述載體層和所述導電通路上；蝕刻所述導電層和所述載體層，形成測輻射熱計膜(54)，所述測輻射熱計膜(54)通過所述導電層的剩余部分(44)電連接到所述導電通路，所述剩余部分(44)覆蓋所述導電通路的上部(40)；通過選擇性的化學蝕刻去除所述犧牲層，以使得所述膜通過所述通路懸置。

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聲明：

“用于制造輻射熱探測器的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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下載:310

2 磨礦浮選智能控制的工程實踐

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3 銅鉛鋅氧化礦強化硫化浮選理論

下載:216

4 基于CFD-PBM和CFD-DE

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