本發明公開了利用化學熱處理在金屬表面制備陶瓷多層膜的方法。首先在需要表面強化的金屬基體表面利用物理氣相沉積方法制備具有碳化物或氮化物或氮化物形成能力的金屬/金屬多層膜;然后對樣品進行高溫熱處理,促進金屬元素層間互擴散;最后對樣品進行滲碳處理或滲氮處理處理或者滲氮處理,隨著碳或氮向內擴散并與金屬反應,使金屬/金屬多層膜轉變為碳化物/碳化物氮化物/氮化物多層膜。最終在基體表面形成陶瓷/陶瓷多層膜。與現有方法相比,本發明方法能夠促進層間界面的金屬元素互擴散,形成具有冶金結合的高強度層間界面和膜基界面,顯著提高膜層的綜合力學性能。
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