本發明公開了一種超細球形鎢粉及其制備方法,屬于粉末冶金技術領域。本發明以粗鎢酸銨為原料,采用化學精煉法制得球形鎢粉,其方法包括離子交換、溶劑萃取、蒸發結晶、霧化造粒和微波煅燒,最后制得超細球形鎢粉。本發明制得的超細球形鎢粉純度為大于99.995wt%以上,粒徑為0.1~3μm,振實密度為5.1~6.3g/cm3,粉體流動性好。該鎢粉可用于生產濺射靶材和半導體元器件,是大規模集成電路關鍵原材料,市場需求巨大,應用前景廣闊。同時,該制粉工藝也可用于指導生產其他金屬粉體。
聲明:
“超細球形鎢粉及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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