本發明公開了一種細晶粒平面鉬靶材的生產方法,該方法為:一、采用粉末冶金燒結制備鉬板坯;二、對鉬板坯進行8道次以上軋制,得到鉬板材,每道次軋制的加熱溫度為850℃~1000℃;三、對鉬板材進行熱處理,隨爐冷卻后得到晶粒尺寸不大于100μm,平均晶粒尺寸為40μm~80μm的細晶粒鉬靶材。本發明的方法簡單高效,設備來源廣泛,對環境無污染,性能可靠,可批量化生產,生產的產品性能穩定可靠,節能高效,可滿足各種規格和單重板材的生產。采用本發明的方法生產的平面鉬靶材晶粒組織均勻、細小,平均晶粒尺寸為40μm~80μm,最大晶粒尺寸不大于100μm。
聲明:
“細晶粒平面鉬靶材的生產方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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