射頻-直流多層輝光離子滲鍍設備及工藝屬于表面冶金的范疇,其設備特征是在爐底盤與工件極之間放置一絕緣物,對射頻與直流,爐底盤和工件極將具有不同的電極功能。工件利用輝光放電空心陰極效應進行加熱,在工藝上提供了一種在導體、非導體基材表面形成表面鍍層、擴散層和擴散層與鍍層復合層的方法。本發明將直流輝光引入工件,彌補了射頻濺射設備只能形成鍍層不能形成滲入擴散層的不足。提供了具有更強結合力的滲、鍍、擴散及它們之間相互結合的復合層材料。
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