一種大型三氯氫硅合成裝置,為筒形結構,上部筒體直徑擴大部分是氣固分離段,該段設有出料口,中部的直筒段是反應段,反應段外包加熱器,加熱器上方設有硅粉進料口,底部連接下封頭,下封頭上開有氯化氫進氣口,下封頭還開有排渣口,其筒體的反應段底部的氯化氫進氣口上方設置氣體分布板,氣體分布板上分布有氣孔,筒體內置有內換熱套管,內換熱套管與筒體外的熱媒進管和熱媒出管連通。本發明解決了規?;a三氯氫硅的問題,具有拆卸方便、合成能力大、反應穩定、原料利用率或轉化率高、產品中三氯氫硅含量高的特點。主要用于有色冶金、電子材料和化工等領域。
聲明:
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