本發明涉及一種去除工業硅中硼、磷及其它雜質的綜合利用方法,本發明涉及采用濕法冶金、氧化造渣和電子束熔煉去除多晶硅中硼、磷及其它雜質。包括:用濕法冶金酸洗方式去除硅中的雜質獲得低雜質多晶硅,再用中頻感應加熱對低雜質多晶硅進行氧化造渣熔煉,通過造渣劑的氧化方式去除多晶硅中的雜質硼,從而獲得低硼多晶硅,再次用電子束熔煉去除低硼多晶硅中的磷雜質獲得低金屬低硼低磷多晶硅。其特點是:低投入、低成本、環境污染小、工藝簡單、回收率高,形成了一整套適合于工業化生產太陽能級多晶硅中間產品的可實施工藝。
聲明:
“去除工業硅中硼、磷及其它雜質的綜合利用方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)