權利要求書： 1.一種太陽能電池的測試方法，其特征在于：制備測試樣品，所述測試樣品包括硅襯底、位于硅襯底一側表面的隧穿層、設置在所述隧穿層背離硅襯底一側的摻雜多晶硅層、設置在所述摻雜多晶硅層上的若干金屬電極，所述金屬電極的長度設置為W，寬度為L，若干所述金屬電極平行設置且相鄰所述金屬電極的間距設置為d；
根據測試樣品的結構，確定相鄰金屬電極之間的電阻R的算式如下：其中，R1為所述硅襯底的體電阻，R2為所述隧穿層的隧穿電阻；R3為所述摻雜多晶硅層的薄層電阻，R4為金屬電極的接觸電阻；
測試獲取N組不同相鄰金屬電極之間的電阻R，N≥3；
建立方程組，計算得到隧穿電阻R2、薄層電阻R3、接觸電阻R4，所述隧穿層的隧穿電阻率ρ1為R2*L*W，所述摻雜多晶硅層的方阻R□為R3/d，所述金屬電極的接觸電阻率ρ2為R4*L*W。
2.根據權利要求1所述的測試方法，其特征在于：將所述隧穿電阻率ρ1、方阻R□、接觸電阻率ρ2代入電阻R的算式，計算得到不同間距d所對應的電阻R值，擬合繪制相鄰金屬電極的電阻R與間距d的關系曲線；
測試得到間距為d0的相鄰金屬電極的電阻R0，將電阻R0與所述關系曲線中間距d0所對應的電阻R值相比對，并根據比對結果對所述隧穿電阻率ρ1、方阻R□、接觸電阻率ρ2進行修正。
3.根據權利要求2所述的測試方法，其特征在于：根據所述關系曲線的延長線在橫向坐標軸上的截距得到遷移長度LT，當所述金屬電極寬度L小于遷移長度LT時，所述隧穿層的隧穿電阻率ρ1為R2*L*W，所述金屬電極的接觸電阻率ρ2為R4*L*W；
當所述金屬電極寬度L大于等于遷移長度LT時，所述隧穿電阻率ρ1為R2*LT*W，所述接觸電阻率ρ2為R4*LT*W。
4.根據權利要求1所述的測試方法，其特征在于：所述“測試獲取N組不同相鄰金屬電極之間的電阻R”步驟中，選取至少兩組間距小于0.2cm的相鄰金屬電極進行測試，得到相應的電阻R值。
5.根據權利要求1所述的測試方法，其特征在于：所述測試樣品中任意兩個相鄰所述金屬電極的間距各不相同。
6.根據權利要求1所述的測試方法，其特征在于：所述測試樣品中部分相鄰所述金屬電極的間距相同；
所述“測試獲取N組不同相鄰金屬電極之間的電阻R”過程，包括測試獲取至少兩組間距相同的相鄰金屬電極的
聲明：
“太陽能電池的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
