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            青島垚鑫智能科技有限公司
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            福建泉州有色金屬材料制備及加工技術理論與應用

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            德化豬油白瓷器及其制作方法

            本發明公開了一種德化豬油白瓷器及其制作方法,該德化豬油白瓷器包括胚體和豬油白胎釉,所述胚體由以下質量份數的原料制成:高嶺土30?36份、長石15?25份、低溫石10?18份、低溫粘土10?18份、葉臘石12?16份、石英11?17份、鋰輝石2?8份、云母1?5份、氧化鋯1?3份、碳酸鋇6?8份、加強材料6?10份,增白劑18?24份、耐高溫材料一6?8份。有益效果:具有較高的強度,釉料強度高,不易開裂,窯變效果好,光澤度高、瓷器穩定、抗熱震性能好。

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            福建 - 泉州 來源:中冶有色網 2023-03-19
            利用陶瓷廢料制備的亞光仿古瓷及其制備方法

            利用陶瓷廢料制備的亞光仿古瓷及其制備方法,仿古瓷包括坯體和涂覆在坯體上的亞光釉;坯體由以下原料組成:陶瓷廢料、鉀長石、鋁礬土、方解石、鋰輝石、葉臘石、氧化鎂、氧化鋅;亞光釉由以下原料組成:德化石英、高嶺土、鈉長石、亞光熔塊、硅藻土、硼砂、凹凸棒土、碳酸鋇、二氧化錳、碳酸鎂,發明制備的仿古瓷表面呈亞光磨砂的效果,反光率低、光感柔和、色澤古樸自然,仿古效果好,可滿足人們對仿古瓷的市場需求。

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            用于OLED掩膜版及坩堝表面LiF材料清洗的組合物

            本發明屬于表面活性劑技術領域,具體涉及一種用于OLED掩膜版及坩堝表面LiF材料清洗的組合物,按質量百分數之和為100%計,包括0.1?5%的特定的乙二醇基Gemini型兩性離子表面活性劑,5?20%無機強堿性物質,0.5?20%有機助劑,0.1?5%螯合劑,余量為高純水。本發明通過特定的乙二醇基Gemini型兩性離子表面活性劑與無機強堿混配,可以快速并有效去除蒸鍍工藝中掩膜版及蒸鍍設備坩堝上附著的LiF電極材料,大大提高了鋰鹽的溶解度,解決了市面上產品存在的沉淀問題,且易清洗無殘留。

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            低溫耐熱陶瓷
            低溫耐熱陶瓷 1123     
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            本發明公開了一種低溫耐熱陶瓷及其生產工藝,由質量百分比為鋰云母36%~42%、氧化鋁24%~30%、龍巖高嶺土30%~32%、膨潤土2%~4%的原料制成,將原料進行預粉碎后,并用球磨機進行濕法球磨,篩選后磁選除去鐵雜質,進行成型,修坯素燒,然后彩畫施噴亮光釉進行釉燒,包裝及入庫,即得產品。本發明生產工藝使用光亮釉,生產出的產品質量好,色澤光亮,性能穩定;且燒制溫度低,節約大量熱量,因此能耗可降低30%,不僅降低了燃料消耗及燃料成本,而且對于節能減排具有重大作用。

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            碳心銀暈斑狀釉面陶瓷制品及其制備方法

            本發明涉及陶瓷制品及其制備方法領域,具體涉及一種碳心銀暈斑狀釉面陶瓷制品及其制備方法,面釉的原料按重量份,依次包括如下組分:黃土5?8份、Fe3O412?14份、長石35?40份、石英5?6份、滑石粉5?8份、石灰石10?12份、硼氫化鋰3?5份、高嶺土4?5份;孔眼內部釉面產生碳核,面釉中的Fe3O4在碳心的邊緣部位富集,富鐵的孤立小滴在碳心邊緣處粗化并聚結,在邊緣處沿著環向形成毫狀晶花,整體圍繞著碳心形成銀暈狀,孔眼以外的其他部位,由于黃土的添加,使得釉下呈現黃棕色珍珠泡,且在光照下由于光線攝入角度不同,從淺棕色到深棕色之間變換;采取多次保溫的方式,可以形成多個圈圈環繞的放射型銀色晶花。

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            用于OLED掩膜版表面陰極材料LiF清洗的組合物

            本發明屬于表面活性劑技術領域,具體涉及一種用于OLED領域的化學品制劑,用于OLED掩膜版表面陰極材料LiF的清洗。包括0.5?5%的乙二醇基咪唑啉Gemini型非離子表面活性劑,0.5?2%的高效滲透劑,5?20%無機強堿性物質,0.5?20%有機助劑,0.1?5%螯合劑,余量為高純水。本發明通過乙二醇基咪唑啉Gemini型非離子表面活性劑與無機強堿混配,可以快速去除蒸鍍工藝中掩膜版表面附著的陰極材料LiF,提高鋰鹽的溶解度,解決市面上產品存在的對掩膜版腐蝕的問題,易清洗無殘留。

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            結構型低溫迷彩釉面瓷器及其制備方法

            本發明涉及陶瓷領域,具體涉及一種結構型低溫迷彩釉面瓷器及其制備方法,其特征在于:釉面從內向外依次包括肌理層、白釉泥層、迷彩層和釉面層;肌理層涂覆于坯體表面和槽線內,肌理層的釉料配方中含氧化銅含量為;迷彩層中的褐色斑點的釉料配方中含氧化銅,綠色斑點的釉料配方中含氧化鉛,銅紅色斑點的釉料配方中含氧化鋰和二氧化錫;釉面層的釉料配方中含二氧化鈦。本發明提供的結構型低溫迷彩釉面瓷器具有很好的美學價值;釉面既能保持釉下彩的耐磨性,又能保持釉上彩柔和的色彩呈現;釉下彩與底色邊界自然過渡,形成一體,繪畫的痕跡弱;燒成溫度低,不會出現鐵疤或料刺等缺陷。

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            亞光綠天目釉陶瓷及其制作工藝

            本發明涉及陶瓷制造技術領域,具體的涉及一種亞光綠天目釉陶瓷及其制作工藝。該種亞光綠天目釉陶瓷,包括陶瓷坯體、設置于陶瓷坯體上的亞光天目釉,所述亞光天目釉的原料包括鉀長石、石英、重鈣、氧化鈦、高嶺土、碳酸鋇、碳酸鋰、碳酸銅、氧化鎂、氧化鉻。本發明的亞光綠天目釉施于陶瓷,使用獨特的原料配置亞光綠天目釉,在釉料燒成過程中,高溫下產生液相分離時,氧化鈦在富鐵相中聚集,其呈色與鐵的呈色合成,導致油滴的顏色變化,氧化鈦、氧化鎂、氧化鉻所呈現的顏色互補,形孔雀鋁綠色分相;本發明燒制出的孔雀綠色的油滴天目釉,釉面區別于傳統天目釉的高?;牟AЧ鉂?,在平滑的釉面上顯示出絲絹光澤或蠟質光澤的亞光的效果。

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            低溫耐熱陶瓷及其生產工藝

            本發明公開了一種低溫耐熱陶瓷及其生產工藝,由質量百分比為鋰云母36%~42%、氧化鋁24%~30%、龍巖高嶺土30%~32%、膨潤土2%~4%的原料制成,將原料進行預粉碎后,并用球磨機進行濕法球磨,篩選后磁選除去鐵雜質,進行成型,修坯素燒,然后彩畫施噴亮光釉進行釉燒,包裝及入庫,即得產品。本發明生產工藝使用光亮釉,生產出的產品質量好,色澤光亮,性能穩定;且燒制溫度低,節約大量熱量,因此能耗可降低30%,不僅降低了燃料消耗及燃料成本,而且對于節能減排具有重大作用。

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            日用白瓷的高白透光釉層及其制備方法

            本發明提供一種日用白瓷的高白透光釉層及其制備方法,釉層由以下重量份的原料構成:氧化硅10~15份、氧化鋁10~15份、助熔料5~8份、鋰輝石1~3份、氧化鈦0.5~1.2份,其中,所述助熔料為重量比為1~3:1~3:1~5的氧化鈉、瓷粉與硅酸鈉的混合物;方法是將釉層原料混合后按照1:1.5~3的重量比與水混合,然后進行球磨并過篩得到釉水,將釉水施于素坯之上,晾干后在1250~1400℃條件下高溫燒制10小時以上,然后自然降溫至室溫。采用本發明提供的方法與工藝制造的日用白陶瓷,其胎質細膩、釉色白潤、釉光瑩潤,其白度在78°以上,光澤度在105以上,透光度在70%以上。

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            保溫儲熱性好的納米釉面陶瓷煲及其制備方法

            本發明提供一種保溫儲熱性好的納米釉面陶瓷煲及其制備方法,包括陶瓷煲坯體和納米釉,所述坯體原料為高嶺土30~40份、石英15~20份、鉀長石15~20份、氧化鋁5~10份、粘土13~20份、滑石1~4份;所述納米釉原料為高嶺土10~15份、鉀長石30~35份、氧化鋅1~3份、氧化銅1~3份、氧化鐵1~3份、氧化鋯1~2份、碳酸鈣3~5份、碳酸鋇1~3份、草木灰3~5份、鋰輝石5~10份、方解石5~10份、白云石5~10份。采用本發明提供的原料與工藝燒成的陶瓷煲,釉面細膩發亮,儲熱性好,對食物具有很好的保溫效果。

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            水性無機富鋅防腐涂料的制備方法

            本發明涉及一種水性無機富鋅防腐涂料的制備方法,該水性無機富鋅防腐涂料是由成膜基液、粘合劑和400目球狀高純鋅粉組成。成膜基液是經過無機酸處理的硅酸鈉溶液,粘合劑是硅酸鋰粘合劑,其特征在于粘合劑中加入了聚乙烯醇作為助劑,聚乙烯醇的含量控制在粘結劑質量的25-40wt%之間。這種涂料的制備過程簡單,涂覆方便,綠色無毒,安全環保,而且常溫下在較短時間內固化成膜。在無機富鋅防腐涂料的性能評價試驗中,觀察1440小時后,無生銹和涂層脫落現象出現,這說明本發明一種水性無機富鋅防腐涂料及其制備方法,顯著地提高了無機富鋅防腐涂料的附著力、耐沖擊性、耐鹽霧和柔韌性能。

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            自行車電動控制摩擦蓄電裝置

            一種自行車電動控制摩擦蓄電裝置,由控制模塊、電磁閥、轉軸、摩擦裝置、照明燈、開關、擺臂、電磁線圈、彈簧組成,其特征是,控制模塊的一號輸出端與照明燈連接,二號輸出端與電磁閥連接,三號輸出端與鋰電池連接,四號輸出端與變色LED燈連接,控制模塊的信號端與開關連接,摩擦裝置與控制模塊的輸入端連接,電磁閥伸出一個轉軸,轉軸上緊固著摩擦裝置,轉軸的頂面右端焊接一根擺臂,彈簧一端頂在擺臂的另一端,彈簧另一端頂住電磁閥的殼底,電磁線圈安裝在彈簧的旁邊。本發明的有益效果:采用上述結構,具有穩定照明系統的電源供應,又能自動連接摩擦裝置。

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            回收廢棄瓷土生產的窯變藝術釉陶瓷

            本發明涉及一種回收廢棄瓷土生產的窯變藝術釉陶瓷,包括坯體、底釉和面釉,坯體由重量份的下述原料制備:低檔瓷土、次生粘土、鋰輝石、片狀高嶺石、鐵氧化物、鈦氧化物、鈰氧化物、銫氧化物;底釉由重量份的下述原料制備:石英、鉀長石、石灰石、鐵粉、鈦白粉或者氧化鈷、碳酸鎂、氧化鋁;面釉由重量份的下述原料制備:錳尾礦、粘土、草灰、潮土、三氧化二鐵、氮化硼、金精石、納米鈦酸鎂、玻璃纖維、氧化硒、著色氧化物;然后在1230℃~1250℃溫度的氧化或者還原氣氛下一次燒成5~7小時。采用德化儲量豐富的低檔瓷土和次生粘土作為主要原材料,不必經過任何除鐵加工工藝,可以簡化原料加工工序,節約工時和能源。

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            易潔陶瓷制品及其制備方法

            本申請公開了一種易潔陶瓷制品,包括坯體和施于坯體表面的釉層,所述坯體包括下列重量份的原料:陶土30?40份、膨潤土8?13份、石英10?17份;所述釉料包括下列重量份的原料:霞石正長巖40?50份、菱苦土1?5份、燧石10?18份、滑石4?8份、碳酸鋇4?10份、白云石10?18份、鋰輝石1?5份、紅蝶碳酸鍶1?5份。本發明先將釉料部分成分進行無氧煅燒,再通過濕磨法進行釉料的制備,所得釉料細膩、穩定性好;并采用緩慢溫控及高溫煅燒相結合的方式制備陶瓷制品,所得陶瓷制品具有性能穩定,成品率高的特點。

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            自助咨詢終端設備
            自助咨詢終端設備 817     
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            本發明涉及一種自助咨詢終端設備,包括主機、底座、觸摸屏、高拍儀、第一轉軸機構、第二轉軸機構、第三轉軸機構,主機由上側板、下側板、左側板、右側板、前側板、后側板拼接而成的長方體;前側板設有電話筒和麥克風,后側板設有投影儀、電源接口和開關按鍵,左側板設有揚聲器,上側板設有提手;底座設有身份證閱讀器;主機內設有處理器、主板、鋰電池和無線通信模塊;底座通過第一轉軸機構連接在右側板上位于右側板和下側板連接處;觸摸屏通過第二轉軸機構連接在右側板上位于右側板和前側板連接處;上側板上開設有凹槽,高拍儀通過第三轉軸機構設置在凹槽內;上述各電路模塊間配合連接,本自助咨詢終端設備可折疊收納,體積小,便于攜帶。

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            催化裂化輕汽油選擇性加氫處理方法

            本發明涉及一種催化裂化輕汽油選擇性加氫處理方法,采用固定床反應器,汽油先切割為輕重餾分油,切割溫度為65℃,汽油輕餾分進入反應器進行加氫脫硫醇反應,催化劑包括氧化硅?氧化鋁載體和負載于載體上的金屬活性組分鎳、鉬、鋅和鋰;反應工藝條件為:反應溫度100?230℃,反應壓力1.1?5.5MPa,體積空速1.2?5.0h?1,氫油體積比7?28:1。本發明方法用于催化裂化輕汽油選擇性加氫脫除硫醇硫及二烯烴。

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            仿水泥磨砂釉料配方、制備及使用方法

            本發明屬于陶瓷制造領域,具體涉及一種仿水泥磨砂釉料配方、制備方法及使用方法。該種仿水泥磨砂釉料包括氫氧化鋁、鋰輝石、硼酸鈣、啞光釉、黑泥、二氧化鐵、甲基纖維鈉。上述仿水泥磨砂釉料配方、制備及使用方法,該種仿水泥磨砂釉料成本低、使用方便,所燒制出的釉面為與水泥顏色相似的灰色、而且釉料表面具有粗糙的顆粒,具有與水泥制品相似的質感;該種釉料可以批量工業化生產、可快速推廣、使用簡單,替代傳統的水泥工藝品,在市場上具有較強的競爭力。

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            高白度釉下多彩低溫陶瓷及制備方法

            高白度釉下多彩低溫陶瓷的坯料配方質量百分比組成:白云石31、高嶺土7、長石8、黑粘土16、絹云母石18、石英10、氧化鈷5、氧化鎂5;釉料配方質量百分比組成:長石39、鋰輝石6、石灰石10、SrCO310、石英21、高嶺土5、滑石6、BaCO33;本發明制備的高白度瓷的白度和鉛鎘溶出量均達到國際先進水平,熱穩定性和高白度瓷一樣可達180℃-20℃熱交換不裂,降低燒成溫度320℃左右,可節約大量的燃油,且釉下畫面色彩鮮艷、逼真,大幅度提高了產品檔次;且采用氧化氣氛燒制高白度陶瓷,不但白度高,而且可提高成品率20%以上,可實現產業化生產。

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            開片豬油白釉瓷的制備工藝

            一種開片豬油白釉瓷的制備工藝,開片豬油白釉瓷包括坯體、底釉和面釉;坯體由以下原料組成:德化長石、德化石英、高嶺土、莫來石、焦寶石、葉臘石、硅藻土、蛭石;底釉由以下原料組成:德化白云石、方解石、德化高嶺土、德化石英、鋰輝石、南安絹云母、氧化鎂、氧化鋅、氧化錫、氧化鑭,本發明制備的開片豬油白釉瓷,釉質瑩厚細膩、潤如油脂、胎白質堅、白潤如脂、略帶黃色,且釉面形成許多裂紋,具有開片的裝飾效果,該釉瓷的坯體原料中引入莫來石、焦寶石與葉臘石,以使坯體可與底釉一體燒制而成,最大程度地減少坯體在高溫下的變形,以保證底釉釉面的完整,細膩。

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            無開片粉青釉工藝瓷的制備工藝

            一種無開片粉青釉工藝瓷的制備工藝,工藝瓷包括坯體和釉料,坯體包括以下原料:長石、德化高嶺土、德化石英、白云石、海泡石、硅藻土、鋰輝石、硅酸鋯、氧化鈦、氧化錫,釉料包括原料:鈣長石、水鎂石、透輝石、德化石英、熔塊、氧化錳、氧化鐵、氧化鈦、氧化鎳,本發明通過改進釉料基礎配方,使燒制成的瓷器釉色青綠淡雅,釉面光澤柔和,達到類玉的效果,釉料中的水鎂石與氧化錳、氧化鐵、氧化鎳配合,在特定的工藝下燒制而成,保證燒制成的瓷器呈釉色青綠淡雅的粉青。

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            便攜式中藥切片機
            便攜式中藥切片機 757     
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            本發明公開了一種便攜式中藥切片機,包括藥盒、蓋板、集藥槽、隔板、鋰電池、壓動機構、刀片座、控制開關和充電接口,該便攜式中藥切片機,在藥盒內部設置了壓動機構和刀片座,通過控制電動推桿使折疊桿通過前滑塊和后滑塊在前軸桿和后軸桿上移動,改變刀片之間的距離,從而根據需要改變切片的厚度;通過控制電動機啟動使第二錐齒輪帶動軸桿轉動,在兩個反向的左螺紋和右螺紋作用下,內螺紋套通過支桿使壓板向下運動,從而將中藥在刀片上擠壓進行切片,解決了現有技術的中藥切片機通常體積較大,多在切制較多藥物時使用,在小劑量中藥切制時通常利用人工裁切,影響工作效率且造成一定人力資源浪費的問題。

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            加工技術
            福建 - 泉州 來源:中冶有色網 2023-03-19
            白瓷坯體及其制備方法

            本分案申請涉及一種白瓷坯體及其制備方法,屬于日用陶瓷技術領域。該白瓷坯體,由坯體基料和坯體添加劑制得,其中所述坯料由如下原料組成:德化長石、鈉長石、龍巖高嶺土、熔融石英、德化埃洛石、鋰瓷石、黑滑石,所述坯體添加劑為增粘增透劑和增韌增強劑,所述增粘增透劑的添加量為坯體基料總質量的8?9wt%,增韌增強劑的添加量為坯體基料總質量的12?16wt%。該白瓷坯體的制作原料易得,燒成溫度范圍較寬,且坯體具有較好的強度和抗變形性能。

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            福建 - 泉州 來源:中冶有色網 2023-03-19
            抗熱震白坯及其制作工藝

            本發明涉及陶瓷技術領域,具體公開一種抗熱震白坯及其制作工藝,抗熱震白坯由如下重量份數的組分組成:龍巖高嶺土20?30份、鉀長石15?20份、鋰輝石6?8份、富鋇熔塊8?12份。富鋇熔塊由如下重量份數的組分組成:銅尾礦10?15份、碳粉2.5?3份、鉀長石10?15份和細粒白云母花崗巖5?15份。本發明富鋇熔塊中通過鉀長石和碳粉配合銅尾礦熔制以產生大量氧化鋇和少量氧化鎂,繼而在加入細粒白云母花崗巖后的熔制過程中硅鋁反應生成莫來石相,而后加入的碳粉參與反應生成碳化物并促進加快莫來石相的連續生成,然后在與坯體其他組分混合燒制時形成致密網絡骨架,可降低燒結溫度和擴寬燒成范圍,無需加入大量滑石即可制得吸水率小,白度高的抗熱震白坯。

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            福建 - 泉州 來源:中冶有色網 2023-03-19
            引入石墨烯制備的高硬度釉面日用陶瓷及其制作工藝

            本發明涉及陶瓷制造技術領域,具體的涉及一種引入石墨烯制備的高硬度釉面日用陶瓷及其制作工藝。該引入石墨烯制備的高硬度釉面日用陶瓷,包括高硬度釉面層,所述高硬度釉面層的原料采用長石、石英、鋰瓷石、骨粉、氧化鋁、碳酸鋇、鋅、碳酸鋯、改性石墨烯。本發明提供的引入石墨烯制備的高硬度釉面日用陶瓷,所燒制的高硬度釉面細膩通透,透光性強,彩面潤澤光亮,白度大于90°;根據與傳統骨質瓷進行相同的耐磨損試驗后進行對比,本提高釉面的耐磨損性能;改性石墨烯的添加,有利于減小骨質瓷釉面的磨損體積,提高高光澤釉面的耐磨損性能,對推動日用陶瓷產品的發展具有積極的意義而且具有積極的經濟效益。

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            福建 - 泉州 來源:中冶有色網 2023-03-19
            具有規則縮釉紋理的藝術陶瓷及其制備方法

            本發明屬于釉料制備領域,具體涉及具有規則縮釉紋理的藝術陶瓷及其制備方法。該種規則縮釉紋理釉料包括以下原料:鉀長石、高嶺土、石英、海泡石、螢石、碳酸鍶份、碳酸鎂、氧化錳、氧化鋰、氧化鋯、六偏磷酸鈉、著色劑。通過釉料各成分之間的相互配合,使制得的釉料的表面張力大,高溫燒成時,其粘度大,流動性差,不能散開來潤濕坯體,進而可在陶瓷素坯表面形成均勻分布的凸起狀縮釉和形成縱橫交錯的裂紋,使制得的陶瓷制品表面分布有均勻的縮點,且形成有裂紋肌理,增加了陶瓷制品的美觀性,極具藝術價值。

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            珍珠白陶瓷制品及制作方法

            本發明涉及陶瓷制備技術領域,具體為珍珠白陶瓷制品及制作方法。所述珍珠白陶瓷制品,包括坯體和釉料,所述釉料由以下重量份的原料組成:長石粉23?32份、石英40?45份、白剛玉10?12份、鈉長石5?8份、氧化鋅4?9份、氧化鐵3?5份、碳酸鋇3?8份、高嶺土11?13份、硅酸鋯5?10份、氧化鈣10?15份、氧化鉀4?8份、鋰輝石12?15份、滑石8?10份。其制備方法的步驟為:S1材料預備、S2泥漿制備、S3施釉、S4燒成。本發明陶瓷制品具有防污效果好、耐磨的特點。

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            三維石墨烯?Si?MoS2復合材料的制備方法

            本發明公開了一種三維石墨烯?Si?MoS2復合材料的制備方法,所述方法包括以下步驟:1)制備三維石墨烯;2)在三維石墨烯上沉積Si層;3)在Si層上沉積MoS2,得到三維石墨烯?Si?MoS2復合材料。本發明提供的三維石墨烯?Si?MoS2復合材料,其三維石墨烯的比表面積比二維石墨烯高出幾十萬倍,Si、MoS2均勻分布于三維石墨烯表面,分散性好,這樣既避免了Si及MoS2納米粒子在循環過程中聚集,又能有效緩沖其在循環過程中的體積膨脹,同時也有效防止了石墨烯的重堆積,從而提高了其循環穩定性;本發明制得的鋰離子電池比容量達到2000mAh/g,首次庫侖效率達到82%,經過200多次循環放比容量沒有明顯衰減,容量保持率達到97%,表現出優良的循環穩定性。

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            低溫一次燒成陶瓷制品及其制造工藝

            本發明提供一種低溫一次燒成陶瓷制品,包括坯體和施于坯體表面的釉層,其坯體原料包括如下重量份的組分:精制黏土45~60份、精制鉀長石粉15~20份、精制鈉長石粉7~12份、精細滑石粉10~15份、白云土5~8份、硅藻土10~15份、硅酸鈉8~12份、玄武巖粉10~13份、氫氧化鋁3~5份、硫化銻1~3份、鋰輝石2~5份;其釉層原料包括如下重量份的組分:低溫熔塊釉30~50份、高嶺土10~12份、精制鉀長石粉10~15份、精制鈉長石粉20~25份、白云土4~6份、氫氧化鋁2~8份、氧化鋅2~5份、硅酸鈣8~15份、CMC粘性劑為0.3~0.5份、氧化鈷0.1~0.3份,其具有高耐磨性與抗水性。

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            超薄晶圓平坦化加工夾持的方法

            本發明公開了一種超薄晶圓平坦化加工夾持的方法,包括如下步驟:首先將超薄晶片放置在真空吸盤的表面,真空吸盤的底部且對應超薄晶片的位置開設有多個抽氣孔,在真空吸盤的頂部設置真空系統,真空系統通過對真空吸盤表面的多個抽氣孔進行抽真空,使超薄晶片吸附在真空吸盤的底部。本發明較傳統的吸附墊夾持方式,可以大幅增加加工壓力,提升拋光效率,并且可以克服傳統的雙拋、上蠟以及吸附墊夾持加工方式無法達到<200um的工藝水準,本發明可以將晶片薄化到<50um,且保證表面平坦度可達5mm2<0.5um,PLTV>95%的水準,解決了傳統加工工藝無法達到鉭酸鋰(LiTaO3;LT)晶片厚度<200um,且平坦度在5mm2<0.5um,PLTV>95%穩定產品品質要求的問題。

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            首席科學家
            礦冶科技集團有限公司
            黨委書記 / 董事長
            鞍鋼集團有限公司
            中國工程院院士
            武漢科技大學
            院長 / 教授
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