安徽有色金屬無損檢測技術理論與應用

電池分容化成一體化校準檢測裝置 810     

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本實用新型公開了一種電池分容化成一體化校準檢測裝置，包括一體式連接的檢測校準盒和電池盒，所述檢測校準盒上設有傳感器固定板、采集板和主控板，所述傳感器固定板內設有N個穿孔電流互感器以及N個極柱電壓采樣彈片，所述穿孔電流互感器和極柱電壓采樣彈片與采集板電連接，所述采集板提供N路電壓、電流AD采樣，所述主控板與采集板輸出端電連接，且主控板通過無線通訊連接有上位機，所述電池盒用于安裝電池組，且電池組安裝后每個電池極柱恰好對應一個穿孔電流互感器以及一個極柱電壓采樣彈片。該檢測校準裝置采用一體式結構，簡化了檢測操作，提高了檢測的穩定性；同時采用穿孔電流互感器進行檢測，基本無損耗，且檢測精度高。

鋼管柱高標號山砂混凝土的檢測裝置 979     

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本實用新型公開了一種鋼管柱高標號山砂混凝土的檢測裝置，包括鋼管柱內豎直地布置的三根聲測管，三根聲測管分別位于等邊三角形的三個夾角處，每根聲測管下端至鋼管柱底面，上端高于鋼管柱，在其中兩根聲測管內設置有換能器，兩個換能器分別通過兩根數據線連接在基樁跨孔超聲波自動循測儀的兩個輸入端口，基樁跨孔超聲波自動循測儀的數據輸出端口與非金屬超聲檢測分析儀的輸入端口連接。本實用新型采用敲擊分析法及聲波對測剖面分析法對鋼管柱高標號山砂混凝土進行100％無損檢測，對疑區域采用長桿鉆心取樣分析法進行復測，準確確定存疑位置并采用長桿鉆心取樣分析法進行復檢，復檢后對鉆孔進行修補降低結構損傷。

基于近紅外光譜技術的化肥質量在線檢測裝置 1077     

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一種基于近紅外光譜技術的化肥質量在線檢測裝置，包括位于化肥生產現場的樣品傳送帶、光學探頭、檢測和控制單元及微處理器，化肥樣品通過樣品傳送帶傳送，光學探頭安裝在樣品傳送帶的上方，光學探頭將采集到的光譜傳送到檢測和控制單元進行分光和光電轉換，然后傳輸至微處理器進行建模和定量分析。該檢測裝置還包括裝配在光學探頭下部前端的V型擋板，化肥樣品在傳輸的過程中，V型擋板和光學探頭下側插入化肥樣品。本發明的優點在于：針對近紅外反射光譜分析技術應用于化肥質量分析的研究，提供一種在線檢測裝置，可以在線檢測化肥中有含氫基團H-X的有效成分；對傳送帶上的化肥樣品進行精確的在線檢測，具有高速、無損、無污染，便于操作等優點。

奧氏體不銹鋼對接焊接接頭的超聲檢測方法 739     

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本發明涉及一種奧氏體不銹鋼對接焊接接頭的超聲檢測方法，包括以下步驟：步驟S1，訂制探頭；步驟S2，制作試塊；步驟S3，制作距離?波幅曲線；步驟S4，檢測準備；步驟S5，檢測；步驟S6，缺陷評定。該奧氏體不銹鋼對接焊接接頭的超聲檢測方法，對于缺陷部位進行對比檢測后，在奧氏體不銹鋼焊縫上分別進行Ir?192源射線檢測和現場實際解剖，對比檢測結果與射線底片和解剖結果完全吻合，由此證明采用該方法能有效地對奧氏體不銹鋼焊縫進行超聲檢測，對該類焊接接頭進行有效的超聲檢測是能夠達到無損檢測的標準，對于本行業在該領域的檢測具有一定的借鑒意義。

相控陣超聲探傷儀的粗晶材料全聚焦檢測方法 1008     

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本發明涉及無損檢測技術領域，具體是一種基于M2M相控陣超聲探傷儀的粗晶材料焊縫的全聚焦檢測技術，包括以下步驟：選用M2M相控陣超聲探傷儀作為檢測儀器，對被檢工件形成矩形的掃描區域，并覆蓋被檢工件的焊縫及其熱影響區；利用M2M儀器檢測軟件將被檢工件的焊縫及其熱影響區劃分為無數個點，對每一個點進行聚焦，并采集掃描數據；采用掃查架對被檢工件進行檢測，并采集全焊縫掃查數據，根據相關標準進行質量評定。本發明采用二維線性探頭，將檢測區域劃分為無數個點，對每一個點進行聚焦檢測，可有效提高該區域的檢測靈敏度，對粗晶材料實施有效的檢測。采用M2M相控陣檢測儀對數據進行最優算法處理，減少數據量大小，便于儲存和現場檢測分析。

熒光與多光譜成像融合的黃曲霉毒素檢測建模方法 915     

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本申請公開了一種熒光與多光譜成像融合的黃曲霉毒素檢測建模方法。該方法可以包括：獲得含有不同濃度黃曲霉毒的糧食樣本；通過熒光光譜檢測，建立黃曲霉毒素含量與熒光光譜數據的擬合關系；根據擬合關系計算測試樣品的黃曲霉毒素含量，提取測試樣品的多光譜數據；根據測試樣品的黃曲霉毒素含量與多光譜數據進行機器學習，獲得基于多光譜數據的黃曲霉毒含量檢測模型。本發明通過熒光光譜聯合多光譜定標黃曲霉毒素，實現快速無損檢測糧油食品中黃曲霉毒素含量的要求。

基于探地雷達的瀝青復合碎石封層厚度檢測方法 1171     

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本發明公開了一種基于探地雷達的瀝青復合碎石封層厚度檢測方法，包括以下步驟：步驟一、制作4?6個瀝青復合碎石封層室內試件；步驟二、用常規厚度檢測法對制作好的試件進行測厚；步驟三、用基于探地雷達檢測法對制作好的試件進行測厚；步驟四、基于步驟二和步驟三，對數據進行歸一化處理，通過公式得到相應的厚度修正系數；步驟五、基于上述步驟，提出介電常數經驗回歸公式。本發明減少甚至消除單純由探地雷達檢測法得到的路面厚度誤差，大大提高了傳統探地雷達檢測方法的檢測精度，達到無損檢測的目的，避免了鉆芯之后修復的問題，消除了鉆芯導致病害的可能性，指導瀝青復合碎石封層的施工，保證施工質量，提高了厚度修正系數的精確度。

基于超聲相控陣聚焦原理的應力檢測方法 1194     

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本發明公開了一種基于超聲相控陣聚焦原理的應力檢測方法，屬于超聲無損檢測技術領域，其步驟包括：S1、組裝超聲檢測系統；S2、利用波束聚焦延時法則計算無應力狀態下第n個陣元發射超聲波的延遲時間tn；S3、標定聲彈性系數；S4、根據步驟2中所得矩陣模型計算得出存在應力狀態下的超聲傳播速度v，推導超聲相控陣在均勻應力場中的傳播模型并計算求出平均應力σ。本發明應用于待測件的應力超聲檢測，基于波束聚焦對待測件的內部應力進行定性定量檢測。

用于檢測玻璃幕墻密封性的中子散射成像系統及其應用 1109     

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本發明公開了一種用于檢測玻璃幕墻密封性的中子散射成像系統及其應用，涉及無損檢測技術領域，包括探測窗口朝向玻璃幕墻并與其垂直的中子探測器，所述中子探測器固定安于可帶動其在垂直于玻璃幕墻的方向上進行往復運動的垂直驅動總成的驅動平臺上，所述垂直驅動總成固定安在與玻璃幕墻平行設置且可帶動其進行水平往復運動的水平驅動總成的驅動平臺上，所述水平驅動總成安裝在安裝架上，所述安裝架通過多個可調吸盤吸附在玻璃幕墻上，所述安裝架上還固定安裝有驅動主機，所述驅動主機與中子探測器通過485總線連接，所述驅動主機與遠程控制端信號連接；本發明能夠有效的對玻璃幕墻密封處進行檢測，提高了檢測精度。

磁記憶檢測異質金屬涂層結合面損傷程度的方法 900     

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本發明公開了一種磁記憶檢測異質金屬涂層結合面損傷程度的方法，包括：1、通過有限元仿真得到異質金屬涂層結合面的疲勞壽命云圖；2、根據沿徑向方向的疲勞壽命曲線將異質金屬涂層結合面劃分為三個區域，包括安全區域、敏感區域以及危險區域；3、利用磁性探頭采集各區域涂層溝槽頂部與底部磁信號切向分量和法向分量；4、對不同區域的兩條檢測線上的各分量幅值作差，提取差值的最大值為磁信號特征量；5、基于t?分布概率統計方法來確定異質金屬涂層結合面不同區域損傷程度閾值，將檢測的磁信號特征量與閾值進行比較實現損傷程度的檢測。本發明能實現更加精準的磁記憶無損檢測異質金屬涂層結合面損傷程度，從而提升檢測辨識度和準確性。

低應變基樁完整性檢測信號的智能化快速解釋方法 1055     

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本發明涉及低應變基樁完整性檢測信號的智能化快速解釋方法，旨在解決目前在低應變基樁完整性檢測中存在的不知，進一步提高檢測的效率和精度。本發明基于先進的信號處理技術和人工智能技術，研發了一種能夠快速持續地解釋大量的低應變基樁完整性檢測信號的計算機輔助解釋的CAI系統模型。該模型通過快速篩查所有的測試基樁并識別出需要人工進一步深度解讀的懷疑樁，實現對低應變基樁完整性檢測信號的智能化快速解釋和缺陷分類識別，極大地減輕了工程技術人員的工作負擔，提高了低應變基樁完整性檢測的效率和可靠性，并進一步提升基樁無損檢測技術創新與應用水平。

深埋管道在線長距離檢測探傷系統 793     

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本發明公開了深埋管道在線長距離檢測探傷系統，它涉及管道探傷技術領域；管道外檢測系統包含標準管/地電位檢測系統、皮爾遜檢測系統、密間距電位測試系統、多頻管中電流測試系統、直流電位梯度方法系統，管道內檢測系統包含檢測管道幾何變形的測徑儀系統、管道泄漏檢測系統、漏磁通量檢測系統、渦流檢測系統、超聲波檢測系統和裂紋檢測系統，管道內檢測系統的檢測方法為：無損檢測系統加載到清管器上，做清掃的非智能PIG改為有信息采集、處理、存儲等功能的智能型管道缺陷檢測器，通過清管器在管道內的運動檢測管道缺陷。本發明有益效果為：它的結構簡單，價格合理，有利于向外推廣、普及，而且具有結構簡單、設置合理等優點。

肛腸壓力檢測儀 1201     

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肛腸壓力檢測是用于肛腸疾病的診斷及術后功能評價的一種安全、方便、無損傷、診斷率高的檢查技術。肛腸壓力檢測儀即通過壓力源、測壓導管將肛腸壓力及壓力變化信號傳遞到壓力傳感器，壓力傳感器將壓力變化信號轉換成電信號傳輸到電子線路板信號輸入端，對于肛腸壓力檢測儀而言，壓力源的穩定性對于檢測的準確性十分關鍵。本實用新型提供一種肛腸壓力檢測儀，采用了液體為壓力傳導介質，采用醫用高分子塑料管材作為系統的測壓管，同時采用了壓力源穩定技術，可以提高檢測的準確性，對壓力信號進行放大、濾波處理使其共模抑制比(CMRR)大于70dB，放大倍數大于10000，同時采用數字電位器，使電子線路及結構更簡捷，調節更方便。

酒類木質包裝盒的水分檢測裝置 1010     

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本實用新型公開了一種酒類木質包裝盒的水分檢測裝置，包括：木制酒盒、木制盒蓋、控制面板以及檢測盒，所述固定座內壁固定連接有檢測盒，所述導柱底端與檢測盒底端內壁固定焊接，所述導柱位于檢測盒內部活動套接有電動滑臺，所述電動滑臺下表面固定連接有探針固定板，所述探針固定板下表面固定焊接有濕度檢測探針，所述探針固定板內部固定安裝有濕度分析芯片，所述木制酒盒外壁固定安裝有控制面板，所述控制面板外壁固定安裝有報警喇叭，本實用新型通過控制面板對電動滑臺的控制，可保證監測裝置完好無損，對濕度監測探針良好的保護，警喇叭鳴起，可及時通知檢測人員排查和處理異常，避免了不必要的資源浪費引起的經濟損失。

四氫噻吩濃度在線檢測方法和系統 1000     

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本發明提出一種四氫噻吩濃度在線檢測方法和系統。其中，方法包括：將待測區域目標氣體吸入傳感器檢測腔體氣室內進行電離；將電離后的目標氣體進行離子化；捕捉離子化的目標氣體的正負電荷，將所述正負電荷轉化為電流信號實現氣體濃度的檢測。本發明提出了一種用于實現四氫噻吩濃度實時檢測的檢測器件和方法，具備在線式無損檢測、長壽命、免維護、抗干擾能力好、易于安裝的特點，可最大限度解決燃氣供應至小區用戶側四氫噻吩濃度添加不達標的緊急預警及處置。

基于電磁超聲的連鑄坯殼厚度在線檢測機構 966     

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本發明公開了一種基于電磁超聲的連鑄坯殼厚度在線檢測機構，在連鑄機二冷區凝固末端附近扇形段的中心位置安裝電磁超聲檢測裝置，電磁超聲檢測裝置位于連鑄坯上表面的上方，用于在連鑄坯上表面激發和接收電磁超聲橫波；在連鑄坯液芯凝固末端位置區域布置4～6對電磁超聲檢測裝置，每對電磁超聲檢測裝置分別設置在連鑄坯的上下面對應位置，而且同軸垂直于連鑄坯，用于在連鑄坯上表面激發和接收電磁超聲縱波。本發明是對傳統檢測方法的一種補充，采用超聲檢測技術與檢測裝置的設計與實踐，本發明具有檢測無損、高效、安全性高的特點。

基于超聲導波技術的異種材質管道截面積損失檢測方法 772     

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本發明公開了一種基于超聲導波技術的異種材質管道截面積損失檢測方法，屬于管道無損檢測領域，其特征在于選定入射信號形式，測量得到待測管道的橫截面積, 記為S0，管道中需要檢測的異種材質截面積損失處的橫截面積，記為S1，管道及待測的截面積損失處的異種材質的密度分別記為ρ0和ρ1；管道及截面積損失處異種材質的楊氏模量和泊松比分別記為E0、v0和E1、v1；由分別求得管道和截面積損失處異種材質中導波傳播速度為和利用導波檢測設備采用合適的檢測頻率對待測管道進行檢測，得到導波檢測信號；進而得到截面積損失處反射信號與導波入射信號的幅值Ar和Ai，求得T＝Ar/Ai；由求得截面積損失處異種材質的橫截面積。本檢測方法具有重要的工程價值。

鐵磁性細軸的可再制造性檢測方法 805     

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本發明涉及一種鐵磁性細軸的可再制造性檢測方法，其包括以下步驟：S1、在鐵磁性細軸表面沿軸向確定n條等角度間距的檢測軌跡線。S2、利用磁記憶探頭分別對n條所述檢測軌跡線進行掃描，得到漏磁信號數據；所述漏磁信號數據包括n組切向分量Hp(x)數據和n組法向分量Hp(y)數據；進而得到所述漏磁信號數據中的最大梯度值Kmax。S3、根據Kmax初步判斷鐵磁性細軸是否存在損傷；當初步判定鐵磁性細軸無損傷和輕微損傷時，結合渦流檢測方法進一步判斷是否可回收利用。上述方法通過將磁記憶檢測技術和渦流檢測技術組合在一起形成了融合檢測，結合磁記憶和渦流檢測的特點，形成了優勢互補，極大的提高了檢測的準確率和缺陷類別。

基于數字散斑相關法的浮空器囊體檢測系統 845     

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本實用新型公開了一種基于數字散斑相關法的浮空器囊體檢測系統，適用于檢測浮空器囊體表面的缺陷和漏洞，屬于航空器檢測技術領域。本檢測系統由主控平臺、軌道裝置、圖像采集單元、加載設備和數據處理單元組成。檢測時，首先利用裝有攝像機的軌道裝置實現對浮空器囊體的整體拍攝，接著通過控制囊體上的加載設備改變囊體內外壓差使囊體發生變形，然后對變形后的囊體再次進行整體拍攝，最后針對兩次拍攝的圖像運用數字散斑相關技術得到囊體表面的位移和應變分布，進而實現對囊體缺陷和漏洞的檢測。該系統具有無損檢測、全場測量、精度高、定量化和自動化的特點，為浮空器囊體性能的檢測提供了一套全新的解決方案。

基于多信息融合的異質雞胸肉品質檢測方法 976     

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本發明公開了一種基于多信息融合的異質雞胸肉品質檢測方法，涉及異質雞胸肉品質檢測方法領域，本發明公開了一種基于多信息融合的異質雞胸肉品質檢測方法，主要由檢測方法與技術、特征信息提取模塊及雞胸肉品質分級模塊組成；檢測方法與技術由三維同步熒光技術、傅里葉紅外技術和核磁共振技術組成；特征參量提取模塊提取雞胸肉的8個特征參量，并利用BP神經網絡模型進行建模預測。雞胸肉品質分級模塊輸出雞胸肉品質。本發明通過采集雞胸肉頂部區域的光譜信息來判定雞胸肉品質，實現了雞胸肉品質檢測的無損快速檢測。

汽車橋殼再制造的疲勞損傷檢測方法及裝備 712     

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本發明公開了一種汽車橋殼再制造的疲勞損傷檢測方法及裝置，其特征是檢測方法是首先采用有限元模擬法識別橋殼易出現損傷的危險區域，然后對橋殼危險區域進行檢測，再采用磁粉法進一步確定橋殼的損傷程度，最后測量橋殼整體變形量確定橋殼是否可以再制造。本發明利用金屬磁記憶無損檢測方法快速評價各種類型的汽車橋殼損傷情況，通過對危險區的重點檢測，有效提高了檢測效率；結合磁粉檢測和變形量測量，快速判定橋殼的可再制造性能。

地下儲氣井套管裂紋與開裂缺陷檢測用標定樣管 925     

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本實用新型公開了一種地下儲氣井套管裂紋與開裂缺陷檢測用標定樣管，屬于特種設備無損檢測技術領域。它包括多個尺寸不同的槽，所述槽位于所述標定樣管的管壁上，所述標定樣管的材質與待檢測地下儲氣井套管的材質相同，且所述標定樣管的規格尺寸與待檢測地下儲氣井套管的規格尺寸相同。它解決了現有技術尚無裂紋與開裂缺陷標定樣管的問題，在實際檢測中，用實際檢測信號與標定缺陷信號比較，確定缺陷類型和大??；或者將檢測用探頭檢測標定樣管，比較檢測信號與標定缺陷信號，由此確定探頭精度與準確性，根據比較結果調整檢測探頭參數，實現檢測設備的校準。

用于檢測鋰離子電池氣密性的裝置 728     

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本發明公開了一種用于檢測鋰離子電池氣密性的裝置，包括檢測箱體、進氣管道、檢測管道和檢測儀；檢測箱體設有開口，開口處安裝有活動面板，檢測箱體內設有移動夾板，檢測箱體上設有與移動夾板連接并控制移動夾板在檢測箱體內部移動的機械閥；進氣管道與檢測箱體內部連通，進氣管道上設有第一調節閥；檢測管道與檢測箱體內部連通，檢測管道上設有第二調節閥；檢測儀與檢測管道連接。本發明通過施加壓力于成品電芯檢測電解液含量從而判斷電芯氣密性，可實現多只電芯同時檢測且是無損檢測，因此可實現對成品電芯的批量檢測。

基于機器視覺的鋼管壁厚在線檢測方法 1238     

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本發明公開一種基于機器視覺的鋼管壁厚在線檢測方法，檢測方法方法首先采集鋼管斷面圖像，然后對采集到的鋼管圖像進行圖像預處理，使用Canny邊緣檢測算子檢測鋼管斷面內外圈邊緣特征，最后使用改進后的隨機霍夫圓檢測算法檢測斷面輪廓，根據設計的鋼管壁厚測量方案計算得到各處鋼管壁厚。本發明檢測方法運用了改進后的隨機Hough圓檢測算法，提高了原有檢測算法的檢測精度與效率，彌補了原有檢測算法因噪聲和復雜背景干擾所產生大量無效累計的缺點；對壁厚測量誤差小，且效率高，能夠滿足對鋼管壁厚在線檢測的要求；實現了非接觸測量，是一種無損檢測方法，在此基礎上，還可以對所測鋼管是否符合生產要求進行判定，從而篩選出殘次品。

基于多光譜成像技術的番茄醬中非法添加物快速檢測方法 777     

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本發明公開了一種基于多光譜成像技術的番茄醬中非法添加物快速檢測方法，對摻入不同濃度非法添加物的番茄醬樣品，應用多光譜成像儀采集樣品的光譜圖像，結合化學計量學方法建立定量分析模型，從而實現對番茄醬摻雜非法添加物含量的快速無損檢測。該方法具有操作簡單、分析速度快、測試重現性好、樣品無需預處理且便于在線無損檢測的優點，有效的測定番茄醬摻雜非法添加物含量。此方法有助于提高番茄醬的品質控制和真偽鑒別水平，有利于保護消費者的利益和規范市場環境。

基于發射電磁或微波的紅外道路檢測裝置的試驗方法 964     

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本發明公開了一種基于發射電磁或微波的紅外道路檢測裝置的試驗方法，其特征在于，包括以下步驟：S1：判斷路面材料；S2：當路面材料為摻有導磁材料的改性瀝青路面時，例如摻有鋼砂、鋼絲絨、導電鋼纖維、工業廢鋼渣時，可利用電磁感應的方法對路面加熱，當路面材料為摻有吸收微波材料的改性瀝青路面時，例如摻有磁鐵礦粉、活性炭、碳納米管、石墨烯時，可采用微波對路面加熱。本發明的加熱方式靈活，適應性強，避免了使用紅外道路無損檢測裝置時難以選擇合適的加熱方式對不同瀝青路面進行快速加熱，影響紅外道路無損檢測技術的檢測效果的問題。

羽化雞小胸品質檢測方法及分級系統 854     

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本發明公開了一種羽化雞小胸品質檢測方法及分級系統，開發了一種基于機器視覺技術的羽化雞小胸品質檢測裝置及分級系統，來鑒別雞小胸的羽化等級。設備主要由硬件模塊、雞小胸圖像信息提取模塊及雞小胸品質分級模塊組成；首先在硬件模塊中的輸送帶將雞小胸輸送至CCD工業相機下方，并完成對原始俯視雞小胸圖像采集；其次由工控機控制終點進行雞小胸圖像預處理并得出凹點數目；最后將得到的凹點參數傳輸至由訓練集訓練所得到的SVM多類分類器模型中進行雞小胸品質分類。本發明實現了穩定、準確、低成本、高效率、客觀的雞小胸品質等級無損分級檢測，未來可落實在禽肉加工在線式無損檢測雞小胸品質分級。

基于振動信號特征的雞胸肉品質檢測方法及分類裝置 1258     

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本發明公開了一種基于振動信號特征的雞胸肉品質檢測方法及分類裝置，主要由硬件模塊、振動參數提取模塊及雞胸肉品質分類模塊組成；首先在硬件模塊中的振動試驗臺中心放置雞胸肉并對其進行位置標定，并在標定位置處放置三軸加速度振動傳感器用于接收振動加速度參數；其次由工控機來控制振動裝置對振動試驗臺下方中心施加垂直振動力；最后將得到的振動加速度參數即軸向加速度、徑向加速度、垂向加速度的參數通過數據采集卡傳輸至終端設備，并通過由訓練樣本數據得到的BP神經網絡預測模型進行雞胸肉品質分類。本發明實現了穩定、準確、低成本、高效率、客觀的雞胸肉品質等級無損分級檢測，未來可落實在禽肉加工在線式無損檢測雞胸肉品質分級。

基于級聯森林和卷積神經網絡的小麥粉筋度檢測方法 1039     

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本發明特別涉及一種基于級聯森林和卷積神經網絡的小麥粉筋度檢測方法，包括如下步驟：A、選取已知筋度的小麥粉作為樣本并分成訓練集和測試集；B、采集高光譜圖像；C、提取單波段圖；D、獲得圖像特征；E、將特征波長和圖像特征進行圖譜融合后作為特征值，將筋度標簽作為結果，代入級聯森林模型中進行訓練得到小麥粉筋度識別模型；F、將測試集代入訓練好的小麥粉筋度識別模型中進行測試，得到預測的筋度類別以及類別準確度。利用高光譜數據獲得光譜特征建立小麥粉筋度控制模型，繼而通過模型對輸入數據進行對比分析，快速無損識別出小麥粉的筋度，判別小麥粉筋度是否符合制作工藝要求檢測方法，該檢測方法適用性強、檢測精度高，能夠無損地實現小麥粉筋度檢測。

半導體摻雜的擴散深度檢測方法 966     

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一種半導體摻雜的擴散深度檢測方法，方法包括：進行摻雜劑擴散，測得半導體光電探測器件的擊穿電壓；根據擊穿電壓計算摻雜劑的擴散深度并根據檢測擴散深度對器件進行補擴散，以優化擴散工藝。檢測方法無需完成所有芯片的流片工藝，無需劃裂片至單個芯片器件，并且無需其他表征檢測手段的破壞性制樣，并且可以在完成摻雜劑擴散時對晶圓片上點進行大范圍快速、無損性的測試與抽測，測試表征準確，高效、無損?；谠摲椒▽U散工藝進行優化以達到預期目標及后續流片工藝。