工作原理
ALW-600B采用布拉格衍射原理:X射線管(如Cu靶,波長1.54?)發射單色X射線,照射藍寶石晶棒后產生衍射;測角儀同步旋轉樣品與探測器,記錄特定晶面(如0001面)的衍射角(θ值)。通過布拉格方程(2d sinθ = nλ)計算晶面間距(d),結合藍寶石(α-Al?O?,六方晶系)的晶體結構參數,精準確定晶棒的C軸方向,確保粘棒工藝的軸向精度≤0.1°,符合GB/T 33219-2016標準要求。
應用范圍
該產品適用于LED行業藍寶石襯底制備的粘棒定向(確保晶片切割方向與C軸平行);光學領域加工藍寶石窗口、透鏡的晶體取向控制;半導體產業制造GaN基外延片的襯底定向。其高精度定向能力支持藍寶石粘棒工藝的自動化與標準化,是LED芯片廠、光學元件廠商及科研院所的關鍵設備。
產品技術參數
晶體材料:藍寶石(α-Al?O?)
定向精度:≤0.1°(C軸方向)
測角儀范圍:θ 0°~60°(連續掃描)
分辨率:0.001°(θ)
掃描速度:0.01°~50°/分鐘(可調)
探測器:閃爍計數器或半導體探測器
X射線管:Cu靶(Kα,λ=1.5406?),功率≤500W
數據輸出:衍射角、晶軸偏差、合格判定
接口:USB 3.0、以太網、VGA
電源:AC 220V±10%,50Hz,功率≤1000W
工作環境:5~40℃,濕度≤85%RH
外形尺寸:800×600×1200mm(嵌入式機柜)
產品特點
高精度晶體定向:0.001°分辨率測角儀,精準控制藍寶石晶棒C軸偏差,確保后續加工性能。
嵌入式工業設計:集成工業電腦與觸控屏,支持自動掃描、數據分析與報告生成,適配生產線在線檢測。
快速檢測能力:單次掃描時間≤30秒,兼容藍寶石粘棒工藝的批量檢測需求。
智能校準與穩定性:內置標準樣品自動校準功能,長期運行角度偏差≤0.02°,保障檢測可靠性。
合規性保障:符合GB/T 33219-2016《多晶體X射線衍射方法通則》及ISO 13767-2013標準,測量數據可直接用于工藝控制與科研分析。