工作原理
RM100 采用高精度電感式位移傳感器驅動金剛石觸針(針尖半徑 2μm),以恒定速度沿被測表面橫向移動。觸針隨表面微觀起伏產生垂直位移,傳感器將位移信號轉換為電信號,經高分辨率 A/D 轉換后傳輸至計算機。專用分析軟件對數據進行濾波處理,去除波紋度干擾,提取表面粗糙度參數(如 Ra、Rz)及輪廓曲線,同時支持三維形貌重建與幾何尺寸測量(如角度、半徑、臺階高度等)。
應用范圍
該設備適用于金屬、陶瓷、塑料及復合材料等工件的表面質量檢測。典型應用場景包括:機械零部件加工后表面粗糙度驗證、模具型腔輪廓精度分析、發動機葉片表面波紋度評估、光學元件平面度檢測,以及電子芯片封裝表面缺陷篩查等。其非破壞性測量方式可滿足生產線在線抽檢與實驗室精密分析的雙重需求。
技術參數
測量范圍:X 軸 100mm,Z 軸 8mm
垂直分辨率:0.001μm
示值誤差:≤±(5%+0.002)μm
測量速度:0.05-1mm/s(可調)
觸針壓力:0.4mN(可選 0.75mN、1.5mN)
濾波參數:符合 ISO 11562 標準,支持高斯、2RC 濾波
數據輸出:支持 TXT、CSV、PDF 格式報告,兼容 CAD 軟件
產品特點
高精度與穩定性:采用德國進口導軌與光柵尺,確保長期使用無磨損,重復測量精度≤0.1μm。
智能化分析:內置 20 余種國際標準(如 ISO、GB、ASME),可自動計算 Ra、Rz、Rq 等 30 余項參數。
人性化操作:7 寸彩色觸摸屏與一鍵測量功能,支持多語言界面切換,降低操作門檻。
模塊化設計:可選配激光測頭或白光干涉模塊,擴展至三維形貌測量,滿足多元化檢測需求。