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            江蘇蘇青水處理工程集團有限公司
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            白光干涉儀

            白光干涉儀

            396
            規格/型號:MicroXAM800
            品牌:納騰
            應用領域:檢測設備
            產地:上海 - 上海
            廠家/供應商:上海納騰儀器有限公司
            咨詢電話::02164283335(請說明信息源自“中冶有色網”)
            更新時間:2025-07-08
            級別:待認證

            白光干涉儀說明介紹

            MicroXAM800白光干涉儀

            MicroXAM800白光干涉儀


            簡介

            MicroXAM-800是用于3D表面形貌和粗糙度測量的非接觸式的光學輪廓儀。MicroXAM-800是一款基于白光干涉儀的光學輪廓儀,采用相位掃描干涉技術(PSI)對納米級特征進行測量,以及采用垂直掃描干涉技術(VSI)對亞微米至毫米級特征進行測量。MicroXAM進一步擴展了這些技術,它采用SMARTAcquire為新手用戶簡化了程序設置,并且采用z-stitching干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。MicroXAM-800的程序設置簡單靈活,可以進行單次掃描或多點自動測量。

            MicroXAM測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關,因而能夠在大視野范圍內進行測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。MicroXAM的用戶界面創新而簡單,適用于從研發到生產的各種工作環境。

            二、功能

            主要功能

            臺階高度:納米級到毫米級的3D臺階高度

            紋理:3D粗糙度和波紋度

            形貌:3D翹曲和形狀

            邊緣滾降:3D邊緣輪廓測量

            缺陷復檢:3D缺陷表面形貌





            技術特點

            針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量;

            SMARTAcquire簡化了采集模式并采用已知佳的程序設置的測量范圍輸入;

            Z-stitching干涉技術采集模式,可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面;

            XY-stitching可以將大于單個視野的連續樣本區域拼接成單次掃描;

            使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創建,實現了測量位置、調平、過濾和參數計算的靈活性;

            利用已知佳技術,從其他探針和光學輪廓儀轉移算法。

            技術能力

            Z向分辨率:0.2nm(PSI)

            RMS重復性:0.1nm

            臺階重復性:0.1nm或1%臺階高度

            三、應用

            半導體和化合物半導體

            LED:發光二較為管

            電力設備

            MEMS:微電子機械系統

            數據存儲

            醫療設備

            精密表面

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            上海納騰儀器有限公司
            企業認證:
              
            所屬領域:
            檢測設備
            企業性質:
            -
            經營范圍:
            -
            聯系電話:
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