FZ-14 區熔晶體生長系統是專為工業生產直徑達100毫米(4英寸)的單晶硅晶體而設計。根據源棒的尺寸,可以拉出長度達1. 1米的晶體。在這個過程中,晶體的直徑和液體區的高度可以通過攝像系統來監測。并且該系統的上部主軸和線圈都是自動定位的。該系統采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產生高極限真空環境,有效地防止了工藝過程中的污染,同時還能將氮氣以受控的方式引入工藝爐體。
PVA TePla為您提供更多個性化選擇,例如用于摻雜的氣體摻雜系統、封閉式去離子冷卻水系統、原料棒的修整器和調整籽晶方向的系統。
產品數據概覽:
材料:硅
晶體
晶體 1,100 mm
晶體拉動長度: 長達100 mm (4″)
晶體直徑: 2.5 x 10-5 mbar
極限真空度: 0.5 bar(g)
發電機
輸出電壓: 30 kW
頻率: 2.4 MHz
上軸
進料速度: 最高30 mm/min
上部旋轉: 最高35 rpm
下軸
拉動速度: 最高 30 mm/min
下部旋轉: 最高 30 rpm
尺寸規格
高度 6,280 mm
寬度: 2,750 mm
深度: 3,000 mm
重量(總): 約 4,900 kg