SR110硅芯爐的工作方式與區熔系統類似。該系統使用一個在高頻感應線圈下直徑為100毫米的
多晶硅棒(源棒)。根據硅棒的長度,在多個拉動工藝中可以產生特定數量的硅芯;然后這些硅芯被用作西門子下游工藝中的原棒。通過隔離閥將接收爐體與工藝爐體分開,可以將完成的硅芯取出,并立即開始下一個工藝。通過引入擴散到熔體中的工藝氣體可以對細桿進行摻雜處理。
改良后的硅芯爐設計采用兩個直徑約為50毫米的源桿,并可以從每個源桿上拉出硅芯。
產品數據概覽:
材料:硅
細桿
長度: 最長3200毫米
直徑: 大約8毫米
源桿
長度: 最長 1,000 mm
直徑: 100 mm (4")
極限真空度: 5 x 10-2 mbar
最大過壓: 0.35 bar(g)
發電機
輸出電壓: 30 kW
頻率: 2.8 MHz
上拉式進料
拉動速度: 最高60毫米/分鐘
下拉式進料
拉動速度: 最高 10 mm/min
轉速: 高達 20 rpm
尺寸規格
高度: 7,300 mm
寬度: 1,820 mm
深度: 1,250 mm
占地面積(總計): 2,500 mm x 2,800 mm
重量(總計): 約6,000 kg