本發明提供以氧化鋅為主要成分,進一步含有鋁、鎵的氧化物燒結體及其制造方法;采用濺射法等完全不產生異常放電、能夠連續且長時間成膜的靶;以及采用它的低電阻且高透射性的高品質的透明導電膜;高轉換效率的太陽能電池。其通過氧化物燒結體等而提供,該氧化物燒結體含有氧化鋅、鋁、鎵,是實質上由纖鋅礦型氧化鋅相和尖晶石型氧化物相的結晶相構成的氧化物燒結體,其特征在于,(1)氧化物燒結體中的鋁和鎵的含量以(AL+GA)/(ZN+AL+GA)原子數比計為0.3~6.5原子%,并且,鋁和鎵的含量以AL/(AL+GA)原子數比計為30~70原子%;(2)尖晶石型氧化物相中的鋁的含量以AL/(AL+GA)原子數比計為10~90原子%。
聲明:
“氧化物燒結體、其制造方法、透明導電膜、以及采用它所得到的太陽能電池” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)