1.本發明屬于壓電陶瓷器件技術領域，具體涉及一種高電壓疊堆式壓電陶瓷致動器及其制備方法。背景技術：2.壓電致動器是利用陶瓷的縱向伸縮，即d33模式在一定方向上施加電場而產生相應位移和力的器件。由于它具有尺寸小、線性度好、位移分辨率高、響應速度快、能耗低、發熱小、出力大等優點，已經成為一種理想的微位移驅動器件，非常適合在精密定位、納米加工、光學器件、航空航天等領域中應用。3.由于單片的壓電陶瓷片的輸出位移比較小，故常采用一定的工藝將多片壓電陶瓷晶片和電極疊合而成壓電陶瓷疊堆以提高輸出位移。疊堆驅動器采用叉指式內電極結構，實現了在力學上串聯，電學上并聯，總的位移輸出量為各層位移之和。4.疊堆式壓電驅動器具有驅動電壓下限較低、響應時間短、輸出壓力高以及位移可重復性好、控制操作簡便等優點。但其缺點也較為明顯：根據壓電效應的基本性質，要取得大量程的位移必須提高驅動電壓，而疊堆的結構特點又限制了陶瓷材料的耐高壓性能(目前市面上銷售的同類產品驅動電壓一般不超過150v)，繼而限制了該類結構產品的位移上限。且傳統的壓電陶瓷配方需經歷1200℃以上的高溫燒結，此過程中發生的鉛氣化會對環境造成污染。以上種種原因，都對此類產品的進一步推廣應用造成了障礙。為了滿足日益增長的市場需求，疊堆式壓電驅動器的耐高壓性能需改進提高，而其所采用的壓電陶瓷材料燒結溫度需進一步降低。技術實現要素：5.為了解決上述技術問題，本發明提供了一種高電壓疊堆式壓電陶瓷致動器及其制備方法，所述致動器由低溫燒結壓電陶瓷材料制備而成，解決了現有產品制備技術中陶瓷材料燒結溫度高、耐驅動電壓低的問題?？蓪⑻沾善臒Y溫度降低至900～950℃，并將致動器的驅動電壓提升至最高500v。6.為了達到上述技術效果，本發明提供了如下技術方案：7.一種高電壓疊堆式壓電陶瓷致動器，所述致動器由低溫燒結壓電陶瓷材料制備而成，所述低溫燒結壓電陶瓷的化學通式為apb(mn1/3nb2/3)o3-bpb(ni1/3nb2/3)o3-cpb(zn1/3nb2/3)o3-dpb(zr0.53ti0.47)o3+e％sm2o3+f％fe2o3+g％cr2o3+h％pb(fe2/3w1/3)o3，其中a+c＝0.1、0.07≤b≤0.15、0.75≤d≤0.83、1.5≤e≤3、f+g＝1、0.05≤h≤0.1；pmn-pnn-pzn-pzt為基體陶瓷
聲明：
“高電壓疊堆式壓電陶瓷致動器及其制備方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
785
編輯：中冶有色網
來源：成都匯通西電電子有限公司
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年08月05日 ~ 07日 
