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            > 基于業互聯網平臺的半導體制造設備維修方法

            基于業互聯網平臺的半導體制造設備維修方法

            725   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:20:06
            本發明公開了一種基于業互聯網平臺的半導體制造設備維修方法,包括:對小樣本失效數據進行處理,所述處理包括數據清洗與特征提取,數據集成與變換;建立基于確定分布、大樣本、多源信息的可靠性評估模型,根據可靠性評估模型進行數據可靠性評估;基于時效性和有效性下數據的健康狀態評估,根據評估結果進行預防性維修決策;基于深度學習進行數據的特征提取、基于深度置信網絡進行特征診斷、基于診斷結果進行預測性狀態維修決策;本發明能夠提高維修效率,節約維修資源。
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