本申請公開一種本申請實施例的目的是提供一種電源組件、電源控制方法和濺射設備,電源組件包括第一電源、第二電源、撥碼開關和電流測量件,所述第一電源和所述第二電源并聯設置,所述第一電源配置為與控制主機通信連接,所述第二電源通過所述撥碼開關與所述第一電源主從連接;所述第一電源和所述第二電源的正極接地設置,所述第一電源和所述第二電源的負極均配置為與安裝于濺射設備的腔室的靶材電性連接;所述電流測量件配置為與所述靶材電性連接,且所述電流測量件與所述控制主機通信連接,以傳輸所述靶材的實際電流于所述控制主機。上述電源組件可以及時發現作為從電源的電源失效的情況。
聲明:
“電源組件、電源控制方法和濺射設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)