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光-機械式微梁陣列熱型紅外圖象傳感器

1218 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 09:02:32

一種用于獲取并轉換紅外信號的光-機械式微梁陣列熱型紅外圖象傳感器,包括按陣列分布的微梁單元,微梁單元中包含熱變形機構和紅外吸收板,熱變形機構為兩組且對稱連接于紅外吸收板的兩側,本發明的關鍵在于:整個微梁單元為側向支撐的無底單層平面結構;熱變形機構由熱隔離梁和變形梁構成折轉式分布;紅外吸收板與變形梁連接,支撐梁與熱隔高梁連接;每組熱變形機構由至少一根熱隔離梁和至少一根變形梁組成;所述的微梁單元采用順序平鋪的方式構成陣列。本發明不僅工藝實現簡單,而且器件不發生粘連、不容易失效和破壞,對器件的真空度要求也大幅降低。無硅襯底部分反射紅外線,更多的能量直接到達探測單元,使探測更靈敏。

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