本發明公開一種利用EMMI檢測芯片靜態漏電的輔助電路的設計方法,包括步驟:①對待測集成電路芯片,根據電路功能,劃分成N個單元模塊;②根據單元模塊的多少,設置數量與之相同的PN結二極管,即N個二極管;③對各個單元模塊分別設置模塊電流復制和放大電路,使每個模塊電流復制和放大電路分別與和其相對應的單元模塊和二極管相連。本發明將不易被EMMI檢測出的故障類型,轉換為易被EMMI檢測出的PN結空穴電子復合電流的變化,只要失效樣本的失效類型可以導致電流的變化,都可以被EMMI檢測出來,同時,等效地增加了使用EMMI進行故障分析時的檢測靈敏度。
聲明:
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