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第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
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2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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最新報告

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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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最新報告

堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
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最新報告

微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
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廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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最新報告

選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

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最新報告

2025年電解鋁行業形勢分析
陰極糊和電解槽壽命的關系淺述，及綠色糊的展望
鋁酸鈉溶液多組分濃度變速滴定儀研制
鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
氧化鋁綠色生產蒸發工段節能新技術實踐與探索

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?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：128
?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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> 具有微影光阻檢測圖案的光刻及其檢測方法

具有微影光阻檢測圖案的光刻及其檢測方法

1164 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:59:59

本發明提供一種具有微影光阻檢測圖案的光刻及其檢測方法,其利用形成于光刻上的四個檢測圖案來對第一層光阻的曝光情況進行光刻置放判斷,其克服了傳統程中需要完成第一層與第二層微影光阻圖案化后才能對第一光刻置放進行校對的缺陷,進而避免制程成本上的浪費,且根據檢測圖案的圖形的扭曲位置可提供工程師獲得更多制程失效的相關信息。

登錄解鎖全文

聲明：

“具有微影光阻檢測圖案的光刻及其檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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