本發明公開了一種晶圓團簇失效報警方法,包括:按計劃執行CP測試;生成b i n坐標圖;檢測失效d i e相鄰d i e是否失效判斷是否發生晶圓團簇失效,若發生晶圓團簇失效則發出報警,并則根據需求在晶圓團簇失效區域周圍的非失效d i e上形成失效標記,將具有失效標記的非失效d i e定義為失效d i e,否則執行后續計劃測試。本發明能及時主動發現晶圓團簇失效并發出報警,通過失效標記能降低系統性風險,能提高生產效率,避免損失。
聲明:
“晶圓團簇失效報警方法和報警系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)