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            > 半導體器件主位線失效的檢測方法和檢測系統

            半導體器件主位線失效的檢測方法和檢測系統

            876   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:59:31
            本發明公開了一種半導體器件主位線失效的檢測方法和檢測系統。該檢測方法包括:選取至少2條字線,分別位于存儲陣列不同的物理扇區;逐一測量所選字線與每一局部位線交叉位置處存儲單元的工作電流;若測量工作電流大于基準工作電流,則判定該存儲單元為異常存儲單元;反之,則判定該存儲單元為正常存儲單元;對應每一局部位線,如果在所選字線上的存儲單元均為異常存儲單元,則判定控制該局部位線的主位線失效;如果在所選字線上的存儲單元存在正常存儲單元,則說明控制該局部位線的主位線沒有失效。本發明提供的檢測方法和檢測系統通過對工作電流的測試實現對主位線失效的監控,既可應用于CP之前、之后,又可插入CP中,減少CP時間。
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