一種制備失效分析樣品的方法,包括:提供樣品,所述樣品包括待分析結構,所述樣品具有第一表面,所述第一表面暴露出待分析結構;在所述第一表面上形成第一預定厚度的重金屬層;在形成第一預定厚度的重金屬層后,將所述樣品一分為二,選擇其中之一作為待分析樣品,所述待分析樣品具有與所述第一表面相鄰的第二表面,所述第二表面暴露出所述待分析結構;在所述待分析樣品的第二表面上形成第二預定厚度的重金屬層;所述重金屬層的材料選自金、鉑或者鉻。在對該方法制備的樣品進行失效分析時,基本能消除引起低介電常數材料、超低介電常數材料引起變形的因素,可以保持樣品原狀,提供有效的分析數據。
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