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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
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有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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最新報告

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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
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微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
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選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
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鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
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譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

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鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
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?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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> 柵氧化層缺陷原貌的失效分析方法

柵氧化層缺陷原貌的失效分析方法

828 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:59:30

本發明涉及半導體缺陷分析技術領域，尤其涉及一種柵氧化層缺陷原貌的失效分析方法，首先在一個預設電壓的條件下篩選出具有柵氧化層缺陷的待測半導體結構，然后對該具有柵氧化層缺陷的待測半導體結構進行操作，先研磨掉金屬互連層，然后用掃描電鏡電壓對比方法確定柵氧化層缺陷位置，再依次去除互連線、介電層和柵極，并在剩下的柵氧化層上沉積一層與柵氧化層透射電鏡襯度對比度較大的襯度對比層，在有問題的柵極區域進行透射電鏡樣品制備，最后通過透射電鏡來進行分析。通過該方法可以清晰的觀察柵氧化層缺陷原貌，為查找柵氧化層制程工藝缺陷提供有力的依據和方向。

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聲明：

“柵氧化層缺陷原貌的失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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失效分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

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