本申請涉及失效分析技術領域,具體公開一種器件失效分析定位方法,包括:對掃描探頭進行校準,獲取校準數據;控制掃描探頭對待測器件進行掃描,并獲得第一參數信息,第一參數信息用于表征待測器件掃描高度平面的電磁場信息;根據第一參數信息和校準數據,確定待測器件目標高度平面的電磁場信息;根據待測器件目標高度平面的電磁場信息,確定待測器件表面的電學分布;根據待測器件表面的電學分布,確定待測器件的失效位置?;陔姶抛⑷牒吞綔y的原理,結合待測器件表面的電磁場信息實現對待測器件的失效位置的分析,相對于傳統的失效分析方法而言,成本較低,且無需對待測器件進行破壞,整體失效定位方法可靠性較高。
聲明:
“器件失效定位分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)