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            > 同時激發縱-橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法與應用

            同時激發縱-橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法與應用

            1080   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:59:26
            本發明提供一種同時激發縱?橫波的ZnO壓電涂層材料的制備方法,包括在基體上依次形成結合層、ZnO壓電涂層、保護層和電極層;其中,ZnO壓電涂層的制備方法包括:真空條件下,采用Zn靶材或ZnO靶材,通過磁控濺射在所述結合層表面形成ZnO壓電涂層;所述磁控濺射中,通入氬氣與氧氣的混合氣體;所述混合氣體中,氬氣與氧氣的流量比為2:1~1:3。本發明還提供一種基于上述制備方法制得的ZnO壓電涂層材料,ZnO壓電涂層在基體表面呈現不同的取向,具有能夠同時被超聲波的橫波和縱波激發的特性。本發明還提供一種智能螺栓,其表面設有上述ZnO壓電涂層材料,能夠同時被超聲波橫波和縱波激發,進而能夠簡化預緊力計算步驟,易于實現螺栓預緊力的高精度無損測量。
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