本發明公開了一種電鏡原位加熱裝置結合焊料的納米焊接方法。本發明焊接過程均在SEM?FIB中進行,利用位于掃描電鏡腔室內的原位加熱裝置對焊接部位進行加熱,同時借助離子束清洗焊接區域,去除納米材料表層的雜質(如焊料表面氧化物,碳類化合物,有機物等),只使焊料變成熔融狀態,而對母體材料無損傷,通過保溫一定時間,熔融焊料與同樣被加熱的母體材料發生持續且強烈的擴散作用,最終實現焊接納米圖案的目的。本發明可精確控制加熱溫度,只使低熔點的焊料發生融化,而對母體材料無損傷,對于焊接高熔點的氧化物半導體納米材料具有顯著的優勢。該焊接方法可實時觀測整個焊接過程,可控性極強且方便快捷,可同時實現多處納米圖案的焊接,效率高。
聲明:
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