本發明公開了一種陰極熒光光譜與高襯度成像裝置及其成像方法。本發明包括掃描電子顯微鏡系統、陰極熒光探頭、高襯度成像轉接模塊、分光模塊、光譜探測器、光強度探測器、信號處理系統和計算機;本發明能夠實現采集光譜譜圖、角度分辨成像、單譜成像以及高襯度全譜成像四種功能;不僅能夠在電子激發的陰極熒光進入光譜探測器和光強度探測器前進入陣列芯片探頭用于近似無損的全譜成像,并且能夠在陰極熒光從光導管出射到進入光譜探測器和光強度探測器前獲得單譜成像,再者該陣列芯片探頭能夠獲得電子束作用點的角度分辨成像;而且在獲得近似無損的全譜成像的同時能夠獲得光譜譜圖和單譜成像。
聲明:
“陰極熒光光譜與高襯度成像裝置及其成像方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)