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            > 硅晶圓線切割液回收過程中失效離子交換樹脂再利用的方法

            硅晶圓線切割液回收過程中失效離子交換樹脂再利用的方法

            1133   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:52
            一種硅晶圓線切割液回收過程中失效離子交換樹脂再利用方法,屬于硅晶圓線切割領域,主要包括1)水沖洗;2)酸液浸泡;3)混合試劑浸泡;4)氧化劑浸泡;5)水養備用這五個步驟;解決了硅晶圓線切割液回收行業樹脂失效后難復蘇等問題。本發明引進的強氧化劑NaClO將雜質中大分子有機物氧化成小分子有機物,在高速攪拌的情況下,使其更容易與樹脂分離。由于接觸時間短,溫度控制合理,對樹脂的本體及交換基團無損壞。本發明針對由金屬離子、可溶性金屬絡合物、可溶性硅化物、有機物等引起的離子交換樹脂失效,復蘇后離子交換能力均能明顯恢復。通過實驗檢測和現場實踐,復蘇后離子交換樹脂,其性能未發生改變,交換容量基本達到新樹脂的水平。
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