本發明涉及一種激光晶體等離子體輔助刻蝕加工PaE方法,用于加工倍半氧化物激光晶體表面,包括下列步驟:對倍半氧化物激光晶體毛坯材料進行形貌測量和損傷層厚度測量,以確定材料表面需要去除的深度;根據去除深度,對倍半氧化物激光晶體毛坯材料進行等離子體表面處理,在倍半氧化物中引入H離子,把倍半氧化物轉變為氫氧化物;利用無機酸對晶體表面刻蝕加工;對被加工表面進行形貌測試和損傷厚度測試,檢測是否達到預期量,并決定是否繼續進行表面處理及刻蝕加工,直至被加工表面達到預期加工目標。本發明可以高效、無損傷、高精度地加工的激光晶體元件超光滑表面。
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