本發明涉及電子衍射儀,提供一種可實現缺陷自動調控的電子衍射儀,包括真空樣品室,還包括檢測光路、缺陷調控光路以及處理單元,檢測光路的三倍頻激光由第一入射窗口透射至真空樣品室內,缺陷調控光路的二倍頻激光由第二入射窗口透射至真空樣品室內的樣品臺上,于真空樣品室內還設置有電子槍,電子槍的陰極位于檢測光路上,缺陷調控光路上設置有激光脈沖能量調節裝置以及激光脈沖掃描裝置,處理單元包括接收組件以及控制中心。本發明的電子衍射儀可對微納制造過程原位實時無損測量,實現邊生長、邊檢測,且通過對衍射圖像處理獲得樣品表面缺陷信息,并根據此信息反饋調節飛秒激光脈沖能量及掃描位置,進行缺陷的修復,實現邊檢測、邊調控的目的。
聲明:
“可實現缺陷自動調控的電子衍射儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)