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            基于石墨烯電荷耦合器件的輻射探測器

            1007   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:38
            本發明公開了一種基于石墨烯電荷耦合器件的輻射探測器,由若干像素組成陣列,單個像素包括柵極、半導體襯底、絕緣層、源極、漏極、石墨烯薄膜和隔離。輻射粒子由背部入射后被半導體襯底吸收,產生與入射能量成正比的電子空穴對,其中少子積累到由脈沖柵壓產生的深耗盡勢阱中,石墨烯耦合出與勢阱中空穴對應的等量電子,通過監測石墨烯電流讀出勢阱中的載流子數量,像素間設有隔離防止串擾。由于石墨烯薄膜的特殊性質,其通過電容性耦合有效收集載流子,產生的電流信號直接從單個像素結構輸出,實現隨機無損讀出,無需采用傳統電荷耦合器件的像素之間橫向轉移電荷方式,且石墨烯本身具有增益效應,從而提高輻射探測靈敏度和探測極限。
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