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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
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材料行業
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
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2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會

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環保行業
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
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微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
生物炭阻控稀土礦區重金屬污染效應及機制研究
基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統

1193 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:58:33

本發明公開一種晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統，采用上層控制系統和底層控制系統的兩級控制模式，兩層控制系統之間通過工業以太網實現物理連接。其中，底層控制系統利用可編程邏輯控制器PLC，負責直接控制化學機械拋光單元的在線測量模塊，并建立專用的存儲區臨時存儲測量模塊在工藝過程中采集到的數據。上層控制系統采用工控機IPC，通過底層控制系統監控在線測量模塊的運行，并利用OPC技術主動讀取底層存儲區中的數據，完成數據的處理，為工藝人員提供操作軟件?；诠に囆枨?，本發明的控制系統設置了標定和測量兩種模式，并可分組存儲多個標定表以消除不同工藝配方對測量結果的影響。本發明具有無損測試、操作簡單、便于維護、良好的可擴展性以及安全可靠的優點。

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“晶圓銅膜厚度在線測量模塊控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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