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            薄膜材料相變溫度測量裝置及方法

            930   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:33
            本發明涉及一種薄膜材料相變溫度測量裝置,包括襯底、電極陣列、探測光光源、信號探測裝置、紅外測溫裝置和計算機;襯底為不透光襯底,電極陣列置于襯底上,待測薄膜覆蓋于電極陣列的表面,探測光光源向待測薄膜表面發射探測光,在探測光光斑落點平面內,電極陣列在至少一個方向呈現周期性結構,探測光的入射方向與電極的周期性變化方向相同;信號探測裝置獲取經電極陣列衍射的探測光信號,傳輸至計算機;電極陣列的一端接電源正極、另一端接電源負極,通電后能夠為待測薄膜加熱,紅外測溫裝置安裝于待測薄膜上方監測待測薄膜的溫度,傳輸至計算機。本發明裝置及方法基于光學衍射,能夠準確、快速地測量薄膜相變溫度,具有快速、無損測量的特點。
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