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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
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?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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晶圓表面損傷層深度測量方法及系統

1093 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:58:32

本發明實施例公開了一種晶圓表面損傷層深度測量方法及系統；該方法可以包括：在待測晶圓表面所選的測量點處進行減薄加工，形成所述測量點對應的凹面測量區域；通過擇優腐蝕的方式對形成有凹面測量區域的待測晶圓進行刻蝕，以顯現所述凹面測量區域中損傷層的缺陷；基于所述刻蝕完成后的凹面測量區域的幾何參數以及所述刻蝕完成后的凹面測量區域中無損傷層的幾何參數計算獲得所述凹面測量區域中的損傷層深度；根據所有測量點對應的凹面測量區域中的損傷層深度獲取所述待測晶圓的損傷層深度。

登錄解鎖全文

聲明：

“晶圓表面損傷層深度測量方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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