<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 無損檢測技術

            > 量測圖案化襯底的量測方法

            量測圖案化襯底的量測方法

            1181   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:26
            本發明涉及一種量測圖形化襯底圖形的方法,主要用于測試在平滑襯底上進行規則圖形化后圖形尺寸的量測;方法中利用掃描電子顯微鏡(SEM)作為測試工具,但測試過程沒有按照普通裂片的制樣方式進行,而是將整片無損傷地進行測試;測試中將樣品進行一定角度傾斜,量測傾斜后的成像尺寸,經過一定運算可以得到所測樣品實際圖形尺寸。本發明介紹的方法給出了SEM在高度測試中新的形式,開啟了圖形化襯底圖形尺寸的無損傷測試模式,既節約了成本又簡化了測試中制樣的流程。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “量測圖案化襯底的量測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            無損檢測
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>