一種面內位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置。主要由連續波激光器、準直擴束器、偏振分束器Ⅰ、偏振分束器Ⅱ、偏振分束器Ⅲ、偏振分束器Ⅳ、反射鏡Ⅰ、反射鏡Ⅱ、反射鏡Ⅲ、會聚透鏡、CCD相機Ⅰ、CCD相機Ⅱ和計算機構成,本實用新型能一次布置光路,同時實現被測物體形變的面內位移和離面位移分布信息的測量,測量精度能達到亞波長量級;并且具有簡單易行、快速、準確的特點??蓮V泛應用于光電無損檢測等領域的微小位移的實時、高精度可靠測量。
聲明:
“面內位移和離面位移同時測量的激光散斑測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)