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            基于X射線的LED芯片缺陷自動檢測設備及方法

            864   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:14
            本發明公開了一種基于X射線的LED芯片缺陷自動檢測設備,其具有X射線檢測主體及屏蔽殼體;其中,X射線檢測主體具有:X射線源,其產生的X射線照射置于載物臺上的待檢芯片;探測器,其探測穿過待檢芯片的X射線;芯片夾具,其以可脫離的形式定位于載物臺上,芯片夾具設有若干個芯片槽;運動平臺,其被配置為實現載物臺在X、Y和Z三方向上的運動;以及控制系統,其被配置為實時獲取運動平臺的位置坐標,并按一定路徑驅動運動平臺。本發明還提供了一種基于X射線的LED芯片缺陷自動檢測方法。本發明可將隱藏的芯片內部的缺陷呈現在圖像當中,并通過對缺陷部分的自動識別和提取,實現LED芯片的快速、無損和自動化批量檢測。
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